等離子體放電原理與材料處理〈優〉－ⓕ

作者：[美]邁克爾.A.力伯曼阿倫‧J.里登伯格
譯者：蒲以康等
出版社：科學出版社
出版日期：2007年03月01日
語言：簡體中文 ISBN：9787030186591
裝訂：平裝

內容簡介TOP本書全面深入地介紹等離子體物理和化學的基本原理，以及工業等離子體材料處理的原理，並應用基本理論分析各種常見等離子體源的放電狀態。書中還介紹半導體材料的刻蝕、薄膜沉積，離子注入等低溫等離子體在材料處理方面的應用，反映本領域的最新研究進展。全書共18章，內容包括等離子體的基礎知識、等離子體放電過程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放電、波加熱的氣體放電、直流放電、刻蝕、沉積與注入、塵埃等離子體，以及氣體放電的動理論等。

本書可供等離子體物理領域的研究生、技術人員，以及微納電子領域的科技研發人員參考學習。

售價:374

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